NVIDIA社との協業を拡大、エージェント型AIとロボティクスを強化

東京エレクトロン（TEL、東京都港区、社長：河合利樹）は、エージェント型AIおよびロボティクスに関するソリューション開発の一環として、NVIDIA社との協業を進めています。具体的には、当社のデジタルトランスフォーメーション（DX）ソリューション コンセプト"Epsira™"において、NVIDIA Agent Toolkit（NVIDIA NeMo、NVIDIA NIM、NVIDIA NemoClawの各ブループリントを含む）とオープンロボット開発プラットフォームNVIDIA Isaacを活用します。Isaacプラットフォームを利用することで、NVIDIA Omniverseライブラリ（シミュレーション用）と統合されたデジタルツインに設計を投入することが可能となります。多くの場合、ロボット保守にはさまざまなツール構成が要求されますが、デジタルツインを利用することでロボットの訓練と精度向上に要する時間が大幅に短縮されます。AIエージェントに関しては、NeMoがエージェントの訓練、調整、評価を加速する他、NemoClawは稼働を容易にし、エージェント運用のセキュリティを高めます。

TELの"Epsira™"は、フィールド生産性向上、歩留まり改善、装置稼働率向上を通じてお客さまの生産性を高めることを目指すもので、AIを活用したMTBWC (Mean Time Between Wet Cleaning) 延長分析、ロボットによる高精度メンテナンス、トラブルシューティング分析等の技術を提供し、定期的なメンテナンスの大幅削減を実現します。このDXインフラにより、お客さまはデータを活用して生産性向上とスキルフリーの稼働を実現し、ばらつきの最小化と装置安定性の最大化、ひいては装置の自律化を目指すことができます。当社はこうした緊密なコラボレーションを通じ、最先端の技術と確かなサービスで、夢のある社会の発展に貢献します。

TELのコーポレート製品開発本部 松島 圭一 執行役員は「AI時代の世界的リーダーであるNVIDIA社とのコラボレーションが一段と深まったことを喜ばしく思います。これにより、当社のEpsira™プログラムの活用範囲はさらに広がります。ロボット保守とAIトラブルシューティング分析によってお客さまの製造能力が強化され、生産性がさらに向上するでしょう」と述べています。

NVIDIA社のロボティクスおよびエッジAIエコシステム担当シニアディレクター、 Amit Goel 氏は「半導体製造は新たな自動化の時代を迎えています。半導体ファブではあらゆる面で生産環境が複雑化していますが、ロボットの活用によって稼働率、精度、強じん性の向上が期待できます。TELはNVIDIAのエージェント型AIおよびフィジカルAIのモデルとフレームワークを活用し、ロボット保守、AIトラブルシューティング、ファブ運用のさらなるインテリジェント化を進めるでしょう」と述べています。

Epsira™の詳細についてはhttps://www.tel.co.jp/news/topics/2025/20251217_001.html をご覧ください。
NVIDIA IsaacとNVIDIA Omniverseの詳細については、https://developer.nvidia.com/isaac（英語）およびhttps://www.nvidia.com/ja-jp/omniverse/ をご覧ください。

Epsiraは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。